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日本Horiba STEC SEC-E50氣體質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽(yáng)能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
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日本Horiba STEC SEC-E50氣體質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽(yáng)能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
日本Horiba STEC SEC-E50氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通常可分為體積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí)，須對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量。在須對(duì)流量進(jìn)行準(zhǔn)確計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽(yáng)能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
日本Horiba STEC SEC-E50氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：
型號(hào)SEC-(質(zhì)量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF-(質(zhì)量流量計(jì))E40E50
適用氣體種類*1 | 非腐蝕性氣體(MK3型號(hào)適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He) | |
氣體接觸部材質(zhì) | SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼 | |
閥門型號(hào) | 非通電時(shí) 關(guān)閉 | |
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM |
流量控制范圍 | 2?100% F.S. | |
流量測(cè)量范圍 | 0?100% F.S. | |
響應(yīng)速度 | 1秒以內(nèi)(T98) | |
流量精度 | ±1% F.S. | |
直線性 | ±0.5% F.S. | |
反復(fù)性 | ±0.2% F.S. | |
工作差壓值值 | 10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d) | |
使用壓力 | 300kPa(G)以下 | |
耐 壓 | 1MPa(G)以下 | |
外部泄漏率 | 1×10-8Pa?m3/s(He)以下 | |
使用環(huán)境溫度 | 5?50℃(精度的確保：15?35℃) | |
流量設(shè)定信號(hào) | 0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S. | |
流量輸出信號(hào) | 0?5VDC(很小負(fù)荷電阻2kΩ) | |
驅(qū)動(dòng)電源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | ＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA |
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2 | 1/4SWL 類型 | |
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